富士NXT-H 高精度マウンター
富士NXT-H 高精度マウンター
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富士NXT-H 高精度マウンター


ウェーハとリール部品を1つのユニットに配置。
トレイ部とリール部の配置、ウェーハからの直接ピックアップをサポートします。


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富士NXT-H 高精度マウンター

高精度実装

リニアモーターの動きと高解像度カメラを備えた高剛性構造。高度な制御技術により、最適な配置圧力、高精度、高品質を兼ね備えています。

 

クリーンルームクラス1000をサポート

この機械がクリーンルームで使用されることを前提に、XYロボットはクリーンルーム対応です。

HEPAフィルタを設定することで、半導体の環境をさらに良くすることができます。


 

簡単操作

大型の15インチタッチスクリーンパネルとグラフィカルインターフェイスを装備。統合されたインターフェースは、機械とMWU12iの両方の操作を制御します。

ウェーハマップデータ管理とフォーマット変換の両方をカバーしています。

※個々のユーザーフォーマットは個別にサポートできます。


 

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