リニアモーターの動きと高解像度カメラを備えた高剛性構造。高度な制御技術により、最適な配置圧力、高精度、高品質を兼ね備えています。
この機械がクリーンルームで使用されることを前提に、XYロボットはクリーンルーム対応です。
HEPAフィルタを設定することで、半導体の環境をさらに良くすることができます。
大型の15インチタッチスクリーンパネルとグラフィカルインターフェイスを装備。統合されたインターフェースは、機械とMWU12iの両方の操作を制御します。
ウェーハマップデータ管理とフォーマット変換の両方をカバーしています。
※個々のユーザーフォーマットは個別にサポートできます。
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