リニアモーターの動きと高解像度カメラによる高剛性構造。高度な制御技術により、最適な配置圧力、高精度、高品質を兼ね備えています。
この機械がクリーンルームで使用されることを前提に、XYロボットはクリーンルーム対応です。
HEPAフィルターを設定することで、半導体にとってさらに良い環境を実現できます。
15インチの大型タッチスクリーンパネルとグラフィカルインターフェイスを装備。統合されたインターフェースは、機械とMWU12iの両方の操作を制御します。
ウェハマップデータ管理とフォーマット変換の両方をカバーします。
※個々のユーザー形式は別途サポートできます。
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