リニアモーターの動きと高解像度カメラによる高剛性構造。高度な制御技術により、最適な配置圧力、高精度、高品質を両立。
クリーンルームでの使用を想定し、XYロボットはクリーンルーム対応です。
HEPAフィルターをセットすることで、半導体にとってさらに良好な環境を実現することができます。
15インチの大型タッチスクリーンパネルとグラフィカルインターフェースを装備。統合されたインターフェースは、機械とMWU12iの両方の動作を制御します。
ウェーハマップデータ管理とフォーマット変換の両方をカバーします。
※ユーザーフォーマットは別途対応可能です。
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